ナノギャップを用いた熱電子発電
熱電子発電では,電極間に温度差を与え放出された熱電子を回収することで発電を行う.通常は熱電子の放出に1000℃以上の高 ...
幾何学的補償を用いた (100) 単結晶シリコンモードマッチ振動リングジャイロスコープ
MEMS gyroscopes for measuring rate or angle of rotation can ...
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, sma ...
ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス
カーボンナノチューブ(CNT)やフラーレン(C60)に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています. ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料とし ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイスの開発
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
周波数領域サーモリフレクタンス
微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計 ...
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.