静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます．当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...
ナノギャップを用いた熱電子発電
熱電子発電では，電極間に温度差を与え放出された熱電子を回収することで発電を行う．通常は熱電子の放出に1000℃以上の高 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広 ...
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ，これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています． ...
円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
本研究では，電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気 ...
Nanoscale mechanical resonators for mass-sensing applications
A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient ...
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューテ ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
共振型加速度センサを用いた MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用できるリザバーコンピューティングはポスト・ムーアのコンピューティング技術の１つ ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...