集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験

Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ，これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．これらのデバイスの実現と信頼性の向上のため，MEMS構造体への一括集積化技術とその機械特性評価をおこなっています．

【応用先】

• 　高共振周波数を利用したナノ共振子
• 　高速・低消費電力電界効果トランジスタや，
• 　表面修飾の多様性を活かしたバイオセンサ