単結晶へき開面ナノギャップMEMSデバイス

熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う．エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの，すなわちナノギャップを用いることで量子効果により室温程度でも発電が可能となる．しかしながら，ナノギャップ間の量子効果については未解明な点が多い．本研究ではMEMSを用いて，単結晶シリコンのへき開によりナノギャップ作製を行っている．

【応用先】

  • 熱電子発電材料
  • ナノギャップ物性評価デバイス
  • 電子冷却デバイス
MEMSデバイスの概要図

【論文・学会発表】

  • 霜降真希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコンへき開ナノギャップ間の温度差測定
    実験力学, Vol. 19, No. 1, 2019, pp. 13-18. DOI: 10.11395/jjsem.19.13
  • 霜降真希, 平井義和, 土屋智由, カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
    第68回応用物理学会春季学術講演会，オンライン，2020年3月16日-19日, 19a-Z08-1
  • 霜降真希，平井義和，土屋智由, 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定
    第81回応用物理学会秋季学術講演会，オンライン，2020年9月8日-11日, 8a-Z09-9

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