単結晶へき開面ナノギャップの物性

熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います．エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの，すなわちナノギャップを用いることで量子効果により室温程度でも発電が可能となります．しかしながら，ナノギャップ間の量子効果については未解明な点が多いです．本研究ではMEMSを用いて，単結晶シリコンのへき開によりナノギャップ作製を行っています．

論文

Masaki Shimofuri, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya
Nanometer order separation control of large working area nanogap created by cleavage of single-crystal silicon along {111} planes using a MEMS device
Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 32, Issue 1 (2023), pp. 67-73.
DOI: 10.1109/JMEMS.2022.3213999