シリコンナノ共振器のQ値

ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定する高感度センシングに応用されている。微小な質量や力の影響を受けて共振周波数が変化することを利用するが、その変化をより高精度に測定するために高いQ値が求められる。Q値は共振の鋭さを表す指標であり共振時の保存エネルギーと損失エネルギーの比に依存する。本研究では支配的な損失源の特定と低減に向けて、シリコンナノ共振器の作製・実験を行った。