ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として,集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と,ギャップ間隔制御,電流計測が可能なデバイス
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価
熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し,発電を行う.本来,熱電子発電では1000℃程度 ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形さ ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...
MEMSを用いた情報処理
リザバーコンピューティング(RC)とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つで ...
イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
DNAオリガミ複合体精製用マイクロ流体デバイス
DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し,デバイスの試作を行った.
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...






