熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により， ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の際に発生する光学収差（光の波面の歪み）は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変 ...
ダイヤモンドNEMS共振器デバイスの作成に向けたナノパターニングおよびドライエッチングプロセスの検討
ナノファブリケーション技術は驚異的なペースで進化し、デバイスの微細化、高集積化、高感度化、低消費電力化を可能にしています ...
ナノギャップ間の熱電界電子放出
熱電子発電では電極間に温度差を与え放出される電子を回収して発電を行う．通常熱電子発電には1000 ℃以上の高温が必要だが ...
低温熱電子発電のためのシリコンナノギャップ電気伝導特性測定評価
半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一 ...
シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー
眼底検査の検査光は，眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため，光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必 ...
非線形熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング
社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
リザバーSAWデバイスの開発
物理ダイナミクスを計算資源として活用する物理リザバーコンピューティングと端末側に情報処理の役割を担わせるエッジコンピュー ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性 ...