顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナ ...
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ（CNT）引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥 ...
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures
Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central n ...
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料とし ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では ...
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
自己伝播発熱Al/Ni多層膜によるMEMS真空封止
熱ストレスの小さいMEMS真空封止技術を実現することを目的として，ナノスケール厚で積層させたAl/Ni膜の合金化反応熱を ...
一本鎖DNA修飾CNTの電気・機械特性評価
カーボンナノチューブ（CNT）は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されてい ...
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性 ...