News

  • 学会発表 2025年10月5日
    4/17-21 The 21st International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems: IEEE-NEMS...
  • 論文掲載-IEEE Sensors Letters 2025年7月14日
    シリコンMEMS振動子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がIEEE Sensors Lettersに掲載されました。
  • Amit Banerjee先生が京都先端科学大学の准教授に着任 2025年5月1日
    当研究室の講師Amit Banerjee先生が5月1日付で京都先端科学大学に准教授として着任しました。Banerjee先生は2015年7月から2019年8月まで特定研究員として、また2020年9月か...
  • 新年度スタート 2025年4月3日
    新年度が始まり、9名が研究室を旅立ち、新たに6名が加わります。活躍を期待しています。 修士課程 能勢 弘太郎 学部4年/B4 大橋 寛明、棗田 琴美、三谷 淳一郎、山下 敦也、山本 ...
  • 助教着任 2025年3月2日
    霜降真希君が3月1日付で当分野の助教に着任しました。よろしくお願いいたします。
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原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では ...
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ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料とし ...
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DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising  ...
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社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
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A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
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静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究 ...
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半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一 ...
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単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として,集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
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The purpose of this research is to realize high fracture str ...
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MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じ ...
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カーボンナノチューブ(CNT)やフラーレン(C60)に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています. ...
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ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定す ...