(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
Ultrathin Si resonator for gas sensing
Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as prom ...
面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析
小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できる ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼 ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間 ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います．エミッタとコレクタの距離をナノ ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究 ...