ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス

カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C₆₀）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています．我々は特に引張試験に着目し，これまで実現されていない，伸び検出分解能1nm，荷重検出分解能1nNでの高分解能なナノ材料引張試験を目標としています．この目標達成のため，これまでに独自の静電容量型MEMS引張試験デバイスを開発し，当デバイスが目標分解能を備えたものであることを確認しました．一方で，試験片としてポリマー化したフラーレンからなるC₆₀ナノワイヤの架橋構造をデバイス上に設置し，その引張試験を実施しました．

学会発表

宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, “電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定", 日本機械学会2006年度年次大会

Yasutake Ura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, “Tensile Testing of Fulleerene Nano Wire Using Electrostatic MEMS Device”, IEEE Transducers 2009, Denver

Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata, “Free-standing C60 nanowire fabricated using XeF2 sacrificial dry etching”, J.Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Jan-Mar 2009/Vol.8