マイクロ流路一体化MEMSデバイス

MEMSセンサ・アクチュエータをデバイス内に集積したMEMS試験デバイスは，その試験部を液体中環境に制御することによって，計測・作用の対象とする微細試料を飛躍的に拡大することができます．そのような機能を実現するMEMS・マイクロ流路一体化デバイスの開発を行っています．本研究では，Siで構成されるMEMSアクチュエータと，構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い，常温での異種材料接合を行いました．

【応用先】 •　液体を用いたアセンブルによるナノ材料の機械的特性評価 •　単一細胞などの機械的特性評価