電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイ ...
せん断型ひずみゲージ集積単結晶Si並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では ...
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究 ...
CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行って ...
ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の際に発生する光学収差(光の波面の歪み)は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変 ...
MXene/bentonite薄膜を用いた高感度湿度センサの開発
湿度センサーは現代技術に不可欠であり、優れた感度と精度を持つTi3C2Tx MXeneが広く利用されている。 Ti3C2 ...
熱電子発電のための へき開面間の電子放出の温度依存性評価
Evaluate the temperature dependence of the electron emission ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じ ...





