フレキシブル3ωセンサの開発

流体の熱物性の情報はデバイスの熱設計や熱特性の評価に必要不可欠です。本研究では流体の熱物性計測を目指し、その計測手法として3ω法に注目しています。従来の3ωセンサでは基板への熱散逸により感度が低下するなどの課題点がありました。そこで本研究では基板への熱散逸を低減させて感度を向上させるために、熱伝導率の低い薄いパリレンフィルムを基板とするフレキシブル3ωセンサの開発を目指しています。