圧電円筒型振動ジャイロの開発

近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高性能が期待されるニオブ酸リチウムを用いた円筒形状ジャイロを開発したが，弾性異方性の影響でモードミスマッチが生じ，高い性能が得られなかった．本研究では，振動子の壁面厚みを調整することでモードミスマッチを低減し，円筒ジャイロを用いて角速度の検出に成功した．角速度感度は13.3 µV/°/sec，バイアス安定性は135°/hだった．