経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
本研究では,電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気 ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects t ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性 ...
DLC膜で被覆したシリコンの引張試験
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising ...
イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
MEMS振動子アレイのモード局在化とリザバー計算
近年、高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されています。本研究では ...
Diamond nanoresonators for sensing and information processing
Nanoresonators are capable of ultrasensitive sensing and eff ...
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料とし ...
フレキシブル3ωセンサの開発
流体の熱物性の情報はデバイスの熱設計や熱特性の評価に必要不可欠です。本研究では流体の熱物性計測を目指し、その計測手法とし ...





