ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ

MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性特性，圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため，最適結晶方位155° Y-cutウエハと独自の電極配置を採用した．作製した直径25.8 mm，共振周波数約95 kHzのディスクで角速度出力を確認した．角速度感度，バイアス安定性は0.35 µV/º/s，0.18°/sであった．

【応用先】 •ジャイロセンサ •圧電ディスク振動子

[論文]

• K. Obitani, T. Tsuchiya, K. Araya, M. Yachi, 45th International Conference onMicro & Nano Engineering (MNE2019), Rhodes, Greece (September 23-26, 2019)
• 帯谷 和敬, 土屋 智由, 荒屋 和貴, 谷内 雅紀, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム (2019年11月19-21日)
• K. Obitani, T. Tsuchiya, K. Araya, M. Yachi, The 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2020), Vancouver, Canada (January 18-22, 2020)