
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として,半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが,脆性材料であることからその機械的信頼 ...

円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型 ...

Ultrathin Si resonator for gas sensing
Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as prom ...

経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...

圧電円筒型振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型 ...

シリコンナノ共振器のQ値
ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定す ...

単結晶へき開面ナノギャップMEMSデバイス
熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う.エミッタとコレクタの距離をナノスケ ...

Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています.動的応力の時間 ...

静電容量型3軸加速度センサ
高感度,低ノイズ,耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は,櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静 ...

CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...

超小型人工衛星用イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
超小型人工衛星に搭載可能な新たなスラスタとしてイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)が注目されている。ILE ...

一本鎖DNA修飾によるSWCNTの高収率孤立架橋アセンブル手法
本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし,SWC ...