静電容量型3軸加速度センサ

高感度,低ノイズ,耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は,櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサを提案します.その特徴は(1)SOIウェハを用いた単一構造体により一点での正確な3軸加速度の検出,(2)表面マイクロマシニングを用いたシンプルな加工プロセス, (3)差動組み合わせの変更により3軸加速度の完全差動検出,といったものが挙げられます.この加速度センサのノイズレベル,他軸感度などの特性に影響を与える要因を解明し,物理探査に適する加速度センサの実現につなげていきます.

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学術論文

Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Funabashi, “A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrode”, Sensors and Actuators A116 pp.378-383 (2004).

Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata, “Design and fabrication of a differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes”, IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering, Vol.4, No.3, pp. xxx-xxx (2009).

学会発表

H. Hamaguchi, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata, “A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes” ,The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07), pp.1483-1486, (2007)

H. Hamaguchi, K. Sugano, T. Tsuchiya and O. Tabata, “A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes” , Proceeding of the sensor symposium on sensors micromachines and applied systems, vol.23, pp.471-476, (2006)

2009年7月28日Research,Sensor