News

  • 学会発表 2025年10月5日
    4/17-21 The 21st International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems: IEEE-NEMS...
  • 論文掲載-IEEE Sensors Letters 2025年7月14日
    シリコンMEMS振動子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がIEEE Sensors Lettersに掲載されました。
  • Amit Banerjee先生が京都先端科学大学の准教授に着任 2025年5月1日
    当研究室の講師Amit Banerjee先生が5月1日付で京都先端科学大学に准教授として着任しました。Banerjee先生は2015年7月から2019年8月まで特定研究員として、また2020年9月か...
  • 新年度スタート 2025年4月3日
    新年度が始まり、9名が研究室を旅立ち、新たに6名が加わります。活躍を期待しています。 修士課程 能勢 弘太郎 学部4年/B4 大橋 寛明、棗田 琴美、三谷 淳一郎、山下 敦也、山本 ...
  • 助教着任 2025年3月2日
    霜降真希君が3月1日付で当分野の助教に着任しました。よろしくお願いいたします。
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単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では ...
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Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ,これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています. ...
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 眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形 ...
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原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では ...
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We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
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MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性 ...
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電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
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単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
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真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により, ...
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A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient ...
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DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し,デバイスの試作を行った.
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本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイ ...