せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では ...
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ,これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています. ...
静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形 ...
アルカリ金属ガスセル
原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では ...
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性 ...
ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により, ...
Nanoscale mechanical resonators for mass-sensing applications
A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient ...
DNAオリガミ複合体精製用マイクロ流体デバイス
DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し,デバイスの試作を行った.
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイ ...





