X線1分子動態計測用観測チャンバの開発
X線1分子動態計測法は,標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し,金ナノ結晶からのX線回折点の運動を動画 ...
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから,これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
熱電子発電のための へき開面間の電子放出の温度依存性評価
Evaluate the temperature dependence of the electron emission ...
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
へき開破壊によるナノギャップ創製
近年,ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり,熱発電デバイスへの応用が期待されています.そのため, ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じ ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構 ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.
MEMSを用いた情報処理
リザバーコンピューティング(RC)とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つで ...