電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の際に発生する光学収差（光の波面の歪み）は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変 ...
自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
本研究では，電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気 ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じ ...
一本鎖DNA修飾CNTの電気・機械特性評価
カーボンナノチューブ（CNT）は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されてい ...
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューテ ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, ...
物理リザバーコンピューティングへの実装に向けた熱音響位相変調器の開発
物理リザバーコンピューティングへの応用を目指し熱音響位相変調器の設計開発し、それを物理リザバーシステムへ実装し学習性能を ...
Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。
周波数領域サーモリフレクタンス
微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計 ...