一本鎖DNAを修飾したSWCNTの特性評価
SWCNT(単層カーボンナノチューブ)は優れた機械特性を示すことが知られています.しかし,その小ささゆえに実験データは多 ...
ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として,集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
低温熱電子発電のためのシリコンナノギャップ電気伝導特性測定評価
半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一 ...
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います.エミッタとコレクタの距離をナノ ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
一本鎖DNA修飾CNTの電気・機械特性評価
カーボンナノチューブ(CNT)は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されてい ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じ ...
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話,自動車など幅広く利用されています.本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです.こ ...
Ultrathin Si resonator for gas sensing
Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as prom ...
MEMS振動子アレイのモード局在化とリザバー計算
近年、高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されています。本研究では ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...