架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデ ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により， ...
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ（CNT）引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥 ...
二段電極型イオン液体ESスラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス
カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C60）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています． ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
非線形熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング
社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
ナノギャップ間の熱電界電子放出
熱電子発電では電極間に温度差を与え放出される電子を回収して発電を行う．通常熱電子発電には1000 ℃以上の高温が必要だが ...