周波数領域サーモリフレクタンス
微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計 ...
物理リザバーコンピューティングへの実装に向けた熱音響位相変調器の開発
物理リザバーコンピューティングへの応用を目指し熱音響位相変調器の設計開発し、それを物理リザバーシステムへ実装し学習性能を ...
CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, sma ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により， ...
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
MXene/CNT薄膜の作製と電気化学特性評価
２次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応 ...
MEMS振動子アレイのモード局在化とリザバー計算
近年、高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング（PRC）が注目されています。本研究では ...
MXene/bentonite薄膜を用いた高感度湿度センサの開発
湿度センサーは現代技術に不可欠であり、優れた感度と精度を持つTi3C2Tx MXeneが広く利用されている。 Ti3C2 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
機械学習による深さ方向熱伝導率解析
集積回路やパワーデバイスなどの半導体デバイスにおける発熱密度の上昇は喫緊の課題となっている。デバイス動作時の熱物性を評価 ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...