熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング
IoT社会の実現に向けた計算負荷低減にむけて、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用した物理リザバーコンピューティング（ ...
X線１分子動態計測用観測チャンバの開発
X線１分子動態計測法は，標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し，金ナノ結晶からのX線回折点の運動を動画 ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
In order to shorten testing time on tensile-mode fatigue tes ...
MEMSを用いて作製したナノギャップ電極
We have developed a microelectromechanical system (MEMS) to ...
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間 ...
CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析
小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できる ...
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
MEMSマイクロミラーアレイの同期振動
MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへ ...