News

  • 学会発表 2025年10月5日
    4/17-21 The 21st International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems: IEEE-NEMS...
  • 論文掲載-IEEE Sensors Letters 2025年7月14日
    シリコンMEMS振動子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がIEEE Sensors Lettersに掲載されました。
  • Amit Banerjee先生が京都先端科学大学の准教授に着任 2025年5月1日
    当研究室の講師Amit Banerjee先生が5月1日付で京都先端科学大学に准教授として着任しました。Banerjee先生は2015年7月から2019年8月まで特定研究員として、また2020年9月か...
  • 新年度スタート 2025年4月3日
    新年度が始まり、9名が研究室を旅立ち、新たに6名が加わります。活躍を期待しています。 修士課程 能勢 弘太郎 学部4年/B4 大橋 寛明、棗田 琴美、三谷 淳一郎、山下 敦也、山本 ...
  • 助教着任 2025年3月2日
    霜降真希君が3月1日付で当分野の助教に着任しました。よろしくお願いいたします。
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ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測 ...
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単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として,集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
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過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広 ...
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シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから,これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
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DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising  ...
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Evaluate the temperature dependence of the electron emission ...
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熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う.エミッタとコレクタの距離をナノスケ ...
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微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計 ...
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2次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応 ...
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MEMSの主な構造材料は,シリコン,シリコン化合物,金属薄膜などです. シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知 ...
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MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへ ...
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A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...