ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として,集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性 ...
へき開破壊によるナノギャップ創製
近年,ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり,熱発電デバイスへの応用が期待されています.そのため, ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
MEMSを用いて作製したナノギャップ電極
We have developed a microelectromechanical system (MEMS) to ...
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, sma ...
線形MEMS共振器アレイを用いた物理リザバーコンピューティング
従来リザバー素子として用いられてきた非線形MEMS共振器では,Duffing非線形性に起因して大振幅動作時に双安定性が発 ...
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューテ ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広 ...
シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測 ...
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ,これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています. ...





