シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測 ...
シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
単結晶へき開面ナノギャップMEMSデバイス
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う．エミッタとコレクタの距離をナノスケ ...
Ultrathin Si resonator for gas sensing
Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as prom ...
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では ...
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー
眼底検査の検査光は，眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため，光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必 ...
ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として，集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では，電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています．静電容量型MEMSデバイ ...
MEMSマイクロミラーアレイの同期振動
MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへ ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い，微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです．そのためMEMSデバイスの ...
MEMS結合振動子によるリザバーコンピューティング
ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において，リザーバーコンピューティング（RC）は、有力な候 ...