News

  • 学会発表 2025年10月5日
    11/10-12 Future Technologies from Utsunomiya (宇都宮・ライトキューブ宇都宮) 第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 11...
  • 論文掲載-IEEE Sensors Letters 2025年7月14日
    シリコンMEMS振動子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がIEEE Sensors Lettersに掲載されました。
  • Amit Banerjee先生が京都先端科学大学の准教授に着任 2025年5月1日
    当研究室の講師Amit Banerjee先生が5月1日付で京都先端科学大学に准教授として着任しました。Banerjee先生は2015年7月から2019年8月まで特定研究員として、また2020年9月か...
  • 新年度スタート 2025年4月3日
    新年度が始まり、9名が研究室を旅立ち、新たに6名が加わります。活躍を期待しています。 修士課程 能勢 弘太郎 学部4年/B4 大橋 寛明、棗田 琴美、三谷 淳一郎、山下 敦也、山本 ...
  • 助教着任 2025年3月2日
    霜降真希君が3月1日付で当分野の助教に着任しました。よろしくお願いいたします。
Thumbnail of post image 008

 MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューテ ...
Thumbnail of post image 095

MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります.静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
Thumbnail of post image 063

Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い,常温での異 ...
Thumbnail of post image 158

単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
Thumbnail of post image 074

 本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし,SWC ...
Thumbnail of post image 082

真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により, ...
Thumbnail of post image 025

 眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形 ...
Thumbnail of post image 110

MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点 ...
Thumbnail of post image 055

統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ(CNT)引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥 ...
Thumbnail of post image 091

 熱電子発電では,電極間に温度差を与え放出された熱電子を回収することで発電を行う.通常は熱電子の放出に1000℃以上の高 ...
Thumbnail of post image 183

MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い,微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです.そのためMEMSデバイスの ...
Thumbnail of post image 012

ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測 ...