Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) has been p […]
Sensors
シリコン三次元構造を応用したMEMS原子時計用アルカリ金属ガスセルの開発
小型原子時計CSAC(Chip Scale Atomic Clock)は IoT社会において時刻同期端末としての利用が期待されており，更なる高性能化が求められています．当研究室ではCSACの高性能化に向け，重要な構成要素の一つであるガスセル […]
Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope
MEMS gyroscopes for measuring rate or angle of rotation can be used to provide heading information for inertial navigati […]
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し，検証のため10×10個の1軸加速度セ […]
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究では感度の寸法効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,実現性を検証するために10×10個平面構造 […]
3軸加速度センサのマトリックス感度校正
3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています．本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です．本研究では測定の際に問題となる振動台の回転運動や各センサの取付位置関係の影響評価 […]
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by using in-plane and o […]
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, small size, and easily integrated with ASIC. Therefore, MEMS vi […]
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い，微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです．そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります．そこで，電気系と機械系を一度に解析することができる電 […]
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます．提案手法のコンセプトは，セル […]
自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
本研究では，電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合 […]
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では，電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めた […]
