Thesis


Journal / Int. Conf. / Thesis

修士論文

  • 帯谷 和敬:単結晶ニオブ酸リチウムディスク型圧電振動ジャイロ
  • 霜降 真希:単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱輸送計測のための間隔制御用MEMSデバイス
  • 洪 晙豪:DNAオリガミ複合体を精製するための電極保護膜付きマイクロ流体デバイスの開発
  • 張 東暁:Integration of a Microelectrode Array for Monitoring Extracellular Field Potentials of Cardiomyocytes in PDMS-based Heart-Liver on a Chip
    (PDMSベース心筋―肝臓チップにおける心筋細胞外電位測定用マイクロ電極アレイの集積化)
  • 宮崎 貴史:電流密度分布解析を応用した経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイスの開発
  • 山内 一慶:イオンチャネルの動的構造変化とチャネル電流の同時計測用マイクロ流体デバイスの開発
  • 山崎 友希:ひずみゲージ集積型並列試験デバイスを用いた単結晶シリコンの超高サイクル引張疲労特性評価

卒業論文

  • 竹村 拓樹:Si/COP水蒸気プラズマ接合によるMEMS・マイクロ流路一体化デバイスの開発
  • 西邑 亜香音:イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラス貫通加工の検討
  • 三浦 大知:心臓拍動を再現し圧力を印加する肝オルガノイド培養デバイス
博士論文 (Ph.D. Thesis)

修士論文

  • 稲垣 達也:表面増強ラマン分光に向けたDNAオリガミモールドによる金ナノ粒子二量体の形状制御
  • 江間 稔起:MEMS可変形状ミラーにおける静電ピストンアレイ駆動の実現
  • 木元 雄一:ガス分圧測定によるMEMS原子時計用アルカリ金属ガスセル内雰囲気の評価
  • 辻 勇亮:グレースケールリソグラフィを応用した流路断面形状制御によるイオン液体型高感度圧力センサの開発
  • 中村 友哉:シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を有する高信頼性MEMSミラースキャナアレイ

卒業論文

  • 植田 啓太:がん組織が受ける血液せん断応力を再現するマイクロ流体デバイス
  • 清瀬 俊:シリコン三次元構造を応用したMEMS原子時計用アルカリ金属ガスセルの小型化に関する研究
  • 琴屋 健太郎:感光性高撥水材料を用いたイオンチャネル機能解析用デバイス
  • 文和彦:走査電子顕微鏡観察下での単結晶シリコンへき開破壊ナノギャップ創製・制御・計測システムの開発
  • 松本有紀子:2段電極一体化構造のイオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
  • 尹 弘樹:振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価
  • 吉村 光葵:DNAオリガミモールド内での金ナノ粒子成長を用いたSERS用二量体作製
修士論文

  • 田渕友樹:タンパク質運動応答計測のためのX線1分子動態計測用シリコン窒化膜製マイクロ流体デバイス
  • 中村克生:シリコン三次元構造を応用した小型MEMS原子時計用アルカリ金属生成源の開発
  • 森保彰:単結晶シリコンへき開破壊により形成したナノギャップの間隔制御・電流計測用MEMSデバイスの開発
  • 安田莞司:せん断型ひずみゲージ集積化試験片を用いた単結晶シリコンの並列引張疲労試験
  • 呉東沢:Microfluidic Purification Device for DNA Origami Complexes (DNAオリガミ複合体精製用マイクロ流体デバイスの開発)
  • 山本祥貴:流体問題を対象とした多目的トポロジー最適化に基づく二次元翼の最適設計

卒業論文

  • 山内一慶:脂質二重膜を形成可能なX線1分子動態計測用マイクロ流体デバイスの開発
  • WU JIAXU:心臓鼓動の再現を目指したオルガノイド3D培養マイクロ流体デバイス
  • 宮崎貴史:薬物透過性評価のための経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイス
  • 山崎友希:並列疲労試験用シリコン引張試験片に組み込んだせん断型ひずみゲージの荷重校正
  • 帶谷和敬:ねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
  • 中川貴文:誘電泳動によるチューブ型DNAオリガミの電極間トラッピングパラメータ最適化
  • 霜降真希:顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
博士論文 (Ph.D. Thesis)

修士論文

  • 宇野亜季子 : 静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発
  • 大牧達矢 : in vitro 薬物動態試験に向けた心筋細胞外電位測定用PDMS埋め込み型電極アレイの開発
  • 塩見勇祐 : 一本鎖DNA修飾による単層カーボンナノチューブの高収率孤立架橋アセンブル手法の開発
  • 渋野雄一 : DNAオリガミのイオン電流測定用ナノポアへの応用

卒業論文

  • 辻 勇亮 : グレースケールリソグラフィを応用したイオン液体型圧力センサの高感度化に関する研究
  • 木元 雄一 : アルカリ金属生成源を内包する超小型原子時計用ガスセル内雰囲気変動の測定に関する研究
  • 稲垣 達也 : リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明
  • 中村 友哉 : シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
  • 江間 稔起 : 静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの試作評価と数理解析モデルの検証
博士論文 (Ph.D. Thesis)

修士論文

  • 寺島 健太 :  多孔質微小構造体のCSAC用低温分解アルカリ金属ソースへの応用
  • 中野 優 :  On-chip 組織内血管網の圧力損失評価用イオン液体型圧力センサ
  • Park Seongsu : Computational Study on On-chip Size Separation Process of DNA Nanostructures using Multibody Brownian Dynamics
    (マルチボディブラウン動力学を用いたDNAナノ構造体のオンチップサイズ分離プロセスシミュレーション)
  • 邊見 哲也 : 熱酸化により直径制御した架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
  • 松井 祐樹:  80 μm角センサの10×10アレイを用いたSOI静電容量型加速度センサの スケール効果に関する研究

卒業論文

  • 田邉 航介 : 二次元配列用三角形DNAオリガミの設計と重合条件の最適化
  • 田渕 友樹 : 寸法効果を利用したサブミクロンギャップ垂直櫛歯型SOI加速度センサアレイ
  • 中村 克生 : 厚膜ネガレジスト用三次元リソグラフィシミュレータの開発とその応用
  • 森 保彰 : 基板接合用レジストを用いたX線1分子動態計測用SiN窓付チャンバ
  • 安田 莞司 : せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
博士論文 (Ph.D. Thesis)

修士論文

  • 加藤 義基 : 異種臓器モデルを用いた薬物動態試験用マイクロ流体デバイスの開発
  • 小北 雄亮 : 両側静電駆動MEMS光チョッパによる時間分解顕微ラマン応力測定
  • 外薗 洸佑 : 一本鎖DNA修飾単層カーボンナノチューブのMEMSへの孤立アセンブルにおける接続部の電気・機械特性評価
  • 馬 曉旭 : Parameter Optimization for DMD-based 3D Photolithography
  • 森 裕都 : DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成

卒業論文

  • 今津 敬済 : 磁性粒子を分散した感光性PDMSのリソグラフィ特性に関する研究
  • 宇野 亜季子 : 駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの作製と数理解析モデルの構築
  • 渋野 雄一 : 二重螺旋支持構造を用いたDNAオリガミへのカーボンナノチューブ固定
  • 田原 樹生 : 3次元微細加工を応用したX線1分子動態計測用低ノイズマイクロチャンバの開発
  • 山本 祥貴 : 熱型アクチュエータを用いた単結晶シリコンのへき開によるナノギャップ形成とその熱移動計測
博士論文 (Ph.D. Thesis)

修士論文

  • 鈴木 淳也 : 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験
  • 高木 大介 : 光力学尿細胞診のための癌細胞自動分別マイクロ流体システムの構築
  • 田村 尚之 : DNAオリガミタイルのセルフアセンブルプロセスシミュレーション
  • 中野 篤 : 3自由度振動台を用いたMEMS3軸加速度センサの並列校正に及ぼす回転運動と取付位置関係の影響評価
  • 松井 大門 : 等間隔配列した金ナノ粒子二量体による高感度表面増強ラマン分光法

卒業論文

  • 朴 晟洙 : 2次元異方性ナノチャンネルによるDNAナノ構造のサイズ分離
  • 四方 惟武希 : へき開により創製したSi(111)面を用いたナノギャップ熱伝達測定デバイス
  • 安富 貴浩 : 延性脆性遷移温度における単結晶シリコン薄膜のマイクロ引張試験
  • 邊見 哲也 : 電磁駆動型可変形状MEMSミラーデバイスの作製プロセスに関する研究
  • 寺島 健太 : サブミクロン金粒子接合法を応用した小型ガスセル内の雰囲気制御法に関する研究
修士論文

  • 秋柴 俊之 : シリコン基板の選択的ssDNA修飾とDNAオリガミセルフアセンブリへの応用
  • 上杉 晃生 : (110)単結晶シリコン薄膜単軸引張破壊特性の面内結晶方位依存性に及ぼすBoschプロセス表面損傷の影響評価
  • 片山 拓 : マイクロ流路内銀ナノ粒子・分子溶液多層混合によるSERS分子検出の高感度化
  • 北村 彰男 : 節付きBoschプロセスによる積み重ね型静電容量式加速度センサ
  • 脇田 拓 : 単結晶シリコン薄膜の引張試験における破壊の異方性評価

卒業論文

  • 加藤 義基 : DMDを用いたグレースケールリソグラフィプロセスの最適化
  • 小北 雄亮 : 時間分解顕微ラマン分光のためのシリコン/ガラス陽極接合プロセスによる両側駆動型MEMS光チョッパ
  • 外薗 洸佑 : ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル
  • 森 裕都 : 3次元U字型DNAオリガミ収率のステイプル配置とアセンブルプロセス条件依存性
  • 安本 悠一 : 気相中微量物質捕集用オープンマイクロ流路に関する研究
修士論文

  • 片岡 達哉 : 誘電泳動と無電解金めっきによりクランプした単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験
  • 谷山 彰 : MEMS光チョッパを用いた時間分解顕微ラマン分光による単結晶Si振動子の動的応力測定
  • 西野 聡 : 金ナノロッドの基板上成長とそれを応用したナノギャップ電極の作製と評価
  • 牧野 圭秀 : MEMS用フォトレジストを応用した分子透過膜の特性評価
  • 黄 春梅 : DNAオリガミのセルフアセンブルプロセスに関する解析

卒業論文

  • 鈴木 淳也 : 単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定
  • 松井 大門 : 蛍光検出とフォトリソグラフィ技術を応用した癌細胞分別用流体デバイスに関する研究
  • 中野 篤 : ベクトル空間概念に基づく3軸加速度センサの複数個同時校正方法の検討
  • 田村 尚之 : ひずみ緩和2層十字構造DNAオリガミの創製
修士論文

  • 佐伯 崇洋 : シリコン基板のDNA修飾によるDNAオリガミのセルフアセンブル
  • 徳崎 裕幸 : 自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
  • 吉宗 秀晃 : 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成

卒業論文

  • 秋柴 俊之 : 超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上
  • 上杉 晃生 : 高機能マイクロ流体デバイスの実現に向けた厚膜レジストの機械的特性評価
  • 岡崎 佑哉 : 高速混合を用いた単分子架橋銀ナノ粒子二量体の高収率生成による高感度ラマン分析
  • 片山 拓 : 電気泳動速度の違いを利用したナノ粒子形状別分離マイクロ流体デバイス
  • 北村 彰男 : 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
修士論文

  • 辻本 和也 : 原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止 に関する研究
  • 佐藤 亮 : マイクロスケールでのセルフアセンブルプロセスモデリング
  • 中田 哲博 : 金ナノ粒子創製に向けた十字型マイクロ 流路による2液脈動混合の高速化
  • 平岡 亮二 : 粒子間隔制御可能な金ナノ粒子配列技術
  • 古田 陽一郎 : 高感度静電容量型3軸加速度センサ の開発 ‐櫛歯型垂直変位電極の熱機械ノイズの評価‐

卒業論文

  • 片岡 達哉 : DNAによりセルフアセンブルしたマイクロコンポーネントの付着力測定分解能の向上
  • 谷山 彰 : 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析
  • 中井 裕介 : 厚膜ネガレジストの現像特性を応用した三次元マイクロ流体デバイス
  • 西野 聡 : 電気泳動法を利用した平板状ナノ粒子の選択分離
  • 牧野 圭秀 : 金属ナノ粒子配列基板を用いた表面増強ラマン分光
修士論文

  • 内田 雄喜 : 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
  • 浦 靖武 : 静電容量型MEMS引張試験デバイスによるC60ナノワイヤの機械的性質評価
  • 岡村 考師 : 溶液からの結晶成長によるC60ナノ針状結晶の創成と誘電泳動によるアセンブル
  • 種村 友貴 : DNAハイブリダイゼーションによるマイクロコンポーネントの順次・選択的セルフアセンブル

卒業論文

  • 佐伯 崇洋 : DNAハイブリダイゼーションによりセルフアセンブルしたマイクロコンポーネントの付着力測定
  • 徳崎 裕幸 : 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの電気等価回路の構築
  • 三野 宏之 : ナノトレンチパターンをテンプレートとした金ナノロッドの配列技術
  • 吉宗 秀晃 : 3次元UVリソグラフィを応用した気密封止用ガラスフリットマイクロ流路の作製
  • 脇田 拓 : 単結晶シリコン及び酸化シリコン薄膜の引張強度に及ぼす試験雰囲気圧力の影響評価
修士論文

  • 尾崎 貴志 : セルフアセンブルと転写による金ナノ粒子パターン形成とLSPR特性制御への応用
  • 田中 伸治 : バルブレス圧電マイクロポンプ最適設計のための電気等価回路モデルの構築
  • 宮本 憲治 : 単結晶シリコン薄膜の破壊メカニズムの解明 表面酸化の影響評価
  • 濱口 裕之 : 櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型慣性力センサ
  • 樋口 雄一 : 光誘起泳動力による微小要素の操作と任意基板への集積化

卒業論文

  • 佐藤 亮 : 接触電位差を用いたセルフフェースアライメントプロセスのモデリング
  • 平岡 亮二 : ナノ粒子アセンブル技術を用いた局在表面プラズモン共鳴型バイオセンサ
  • 中田 哲博 : 粘弾性壁を有するマイクロ流路の脈動流れ特性評価と電気等価回路モデルの構築
  • 後神 秀考 : 高配向SWCNTメンブレンの共振振動を用いた弾性定数の測定
  • 古田 陽一郎 : 時間領域有限要素法を用いた圧電薄膜駆動単結晶シリコン振動子の振動特性解析
博士論文 (Ph.D. Thesis)

修士論文

  • 池田 哲郎 : 赤外線集光加熱を用いた高温薄膜引張試験装置の開発
  • 市橋 治 : マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製
  • 稲本 好輝 : 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工
  • 日下部 達也 : DNAを用いた微小コンポーネントの順次的セルフアセンブル
  • 城森 知也 : 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験
  • SUN WEIYU : 干渉遷移放射を用いた超小型軟X線源のための微細周期構造の設計
  • 李 周原 : 誘電泳動を用いたマイクロ流路内微粒子のマニピュレーション

卒業論文

  • 内田 雄喜 : 高誘電液体を用いた静電アクチュエータの液中駆動およびその粘性解析
  • 岡村 孝師 : 遠心力を用いたナノ粒子分級用マイクロ流体デバイス
  • 種村 友貴 : 接触電位差のセルフアセンブル技術への応用
  • 田村 智久 : 低侵襲手術用触覚センサーの構造設計

博士論文 (Ph.D. Thesis)

修士論文

  • 石井 昌宏 : 光誘起誘電泳動を用いた粒子アセンブル
  • 山地 祐輔 : 単結晶シリコン薄膜の引張疲労特性における雰囲気湿度依存性
  • 山田 英雄 : バルブレス圧電マイクロポンプの設計手法の確立と応用

卒業論文

  • 尾崎 貴志 : セルフアセンブルと2段階転写によるサブミクロン粒子パターニング
  • 田中 伸治 : 金属微細構造体製作のための二相ステンレスの析出相生成場所制御
  • 濱口 裕之 : 櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサ
  • 樋口 雄一 : 界面張力を用いたマイクロコンポーネントの積層セルフアセンブル
  • 宮本 憲治 : 微小構造のバネ定数測定を目的としたμN単位の力計測法に関する研究
  • 錦織 雅弘 : 微小ギャップを有する薄膜積層構造を用いた干渉遷移放射軟X線源
卒業論文

  • 市橋 治 : 原子間力顕微鏡を用いた溶液中における微粒子の付着力評価
  • 城森 知也 : マイクロ流路における金微粒子の運動制御に関する研究
  • 豊原 昂 : 縦型櫛歯電極を用いた可変光減衰器用マイクロミラーの設計
  • 李 周原 : 異種微粒子の二次元アセンブルに関する研究