単結晶シリコン薄膜の高温引張試験
MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知 ...
二段電極型イオン液体ESスラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています ...
一本鎖DNA修飾によるSWCNTの高収率孤立架橋アセンブル手法
本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし，SWC ...
ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と，真空による高い熱絶縁性により，真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures
Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central n ...
熱電子発電のための へき開面間の電子放出の温度依存性評価
Evaluate the temperature dependence of the electron emission ...
周波数領域サーモリフレクタンス
近年の半導体デバイスの微細化に伴い、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象の重要性は増大しているが、ナノ・マイクロスケールで ...
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, sma ...
MXene/CNT薄膜の作製と電気化学特性評価
２次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応 ...