
MXene/bentonite薄膜を用いた高感度湿度センサの開発
湿度センサーは現代技術に不可欠であり、優れた感度と精度を持つTi3C2Tx MXeneが広く利用されている。 Ti3C2 ...

Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。

へき開破壊によるナノギャップ創製
近年,ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり,熱発電デバイスへの応用が期待されています.そのため, ...