10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話,自動車など幅広く利用されています.本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです.このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案 ...
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー
眼底検査の検査光は,眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため,光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必要となります.その手法として,変形させたミラー面に波面を反射させて補正する可変形 ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています.動的応力の時間分解測定には,顕微ラマン分光装置の励起光としてパルスレーザを用いる必要があるため ...
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究では感度の寸法効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,実 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし,高温では延性破壊を起こすこ ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です.単結晶シリコンは脆性材料であることから,破壊強度はさまざまな要因によって大きく ...
シリコンナノワイヤのMEMS引張試験
シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり,NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)の構成要素としての応用が期待されています.NEMS ...
一本鎖DNA修飾CNTの電気・機械特性評価
カーボンナノチューブ(CNT)は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されています.しかし現状では複数のデバイス上への一括集積化手法は確立されていません.そこ ...