Research

Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工

DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry deal to its ...

単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では，荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイ ...

ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり，高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求 ...

MEMS gyroscopes for measuring rate or angle of rotation can be used to provide heading information f ...

ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです．プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており，ねじり ...

真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナノギャップ電極の対向面は平行平滑でなく、面積も小さい。そのため、発電量が小さいと ...

眼底検査の際に発生する光学収差（光の波面の歪み）は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変形状ミラーを用いた補償光学系が用いられます。一般に眼底検査に用いる可変形状ミラー ...