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熱電子発電では電極間に温度差を与え放出される電子を回収して発電を行う.通常熱電子発電には1000 ℃以上の高温が必要だが,ギャップ間をナノサイズに縮小すると電極間の電子放出が容易になり,適用温度範囲を室温付近まで拡大することができる. ...

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The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry due to its m ...

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リザバーコンピューティング(RC)とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つである.量子やスピン波などのマイクロ・ナノレベルで実現可能な非線形ダイナミクスの潜在的な情報処理能力を活用して,この ...

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ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料としてバルクSiウエハを用いることで従来のSOIウエハに比べ大幅に材料コストを低減することができます. 本研究では低コ ...

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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) has bee ...

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熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う.エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの,すなわちナノギャップを用いることで量子効果により室温程度でも発電が可能となる.しかしなが ...

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MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性特性,圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため,最適 ...

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MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります.静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため,静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です.本研究では(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの周波数 ...