Research

We developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabricate nanogap electrodes of uniform gap-s ...

DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry deal to its ...

単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究ではピエゾ抵抗効果のせん断効果を利用した高剛性なせん断型ひずみゲージ，およびそれを集 ...

　眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています．当研究室 ...

　本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし，SWCNTの特性評価の実験回数を重ねるため，高収率な孤立架橋アセンブル手法の開発を行っ ...

　ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられることもありますが，そのためには性能と信頼性の向上が求められます．本研究ではミラーの小 ...

眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます．当研究室では従来の静電駆動による可変形状ミラーでは困難である，より大きな変位，自由度の高い変形を実現するためピストン構造 ...

A microelectromechanical system (MEMS) is being developed for controlled fracture of a silicon micro ...