Research

高感度，低ノイズ，耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は，櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサを提案します．その特徴は（1）SOIウェハを用いた単一構 ...

静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されている．これらの解析には複雑な連成解析を要する．そこでシステムを等価な回路で表現し ...

カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C60）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています．我々は特に引張試験に着目し，これまで実現されていない，伸び検出分解能1nm，荷重 ...

材料のサイズが非常に小さくなると，その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります． しかしMEMSデバイスの構造設計に不可欠な薄膜材料の機械的物性（引張強度，ヤング率，疲労特性，etc.）のデ ...