Research

半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一でかつ原子レベルで平滑なナノギャップ構造を作製する技術を確立，電気伝導特性を測定 ...

DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising  coating material in MEMS industry deal ...

眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています．当研究室で ...

単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として，集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法を開発しています．ひずみゲージの集積化によって測定系を高剛性化することで100 ...

過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし，高温では延性破壊を起こすこ ...

単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です．単結晶シリコンは脆性材料であることから，破壊強度はさまざまな要因によって大きく ...

シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．応用デバイスの実用化と信頼性の向上には，実際に応用デバイスで ...

A microelectromechanical system (MEMS) is being developed for controlled fracture of a silicon micro ...