振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構成材料とするMEMS構造の機械的な信頼性評価・保証に役立つことが期待されます。応 ...
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, small size, and easily integrated with ASIC ...
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ(CNT)引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測 ...
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い,微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです.そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります.そこで,電気 ...
自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析
本研究では,電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです.そのためシステム全体を等価な回路で表現 ...
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです.そのためシステム全体 ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微細構造に負荷される応力の評価が必要です。単結晶シリコン微細構造に静的な応力が負荷 ...