イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
重量数10kg以下級の超小型人工衛星に搭載するスラスタの開発を行っています．針状のエミッタに高電圧を印加することで，イオン液体からイオンを引き出し，加速させて推力を得る推進システムです．推力向上のためには，微細加工技術を用いてエミッタを高密 […]
Fabrication
シリコン三次元構造を応用したMEMS原子時計用アルカリ金属ガスセルの開発
小型原子時計CSAC(Chip Scale Atomic Clock)は IoT社会において時刻同期端末としての利用が期待されており，更なる高性能化が求められています．当研究室ではCSACの高性能化に向け，重要な構成要素の一つであるガスセル […]
磁性粒子分散感光性PDMSのリソグラフィ
MEMSに代表される微小なデバイスへの応用が期待される新しい材料に、母材とフィラーの2つの材料を組み合わせたコンポジットマテリアルがあります。これをリソグラフィで微細加工を行うためには母材中に分散しているフィラー濃度が重要なパラメータとなり […]
プロセス最適化シミュレータ
MEMSの加工技術として厚膜フォトレジストの３次元形状加工・グレースケールフィソグラフィが注目されています。しかし設計した通りに３次元形状の高精度作成が難しく、最適な加工パラメータ（例：マスクパタンー、焦点位置、現像時間）の組み合わせを決定 […]
エポキシ系化学増幅型ネガレジストの機械的特性の評価
ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として，ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。本研究では，フィルタ構造設計に重要となる架橋度と機械的特性(弾性率・ […]
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます．提案手法のコンセプトは，セル […]
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
本研究は微小な磁場計測を行うことを目的とした原子磁気センサの作製プロセスに取り組んでいます．特にアルカリ金属蒸気と不活性ガスが封入された微小キャビティ（セル）を作製する際に，雰囲気制御と高い気密性実現する封止技術に着目しています．具体的には […]
粒子間隔制御可能な金ナノ粒子配列技術
金属ナノ粒子がもつ，Localized Surface Plasmon Resonance（LSPR）と呼ばれる特異な現象を応用し，近年さまざまなデバイス開発が行われている．LSPRは粒子配列を行うことで，光電場の伝搬や大きな電場増強が起こ […]
厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術
従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な３次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として，「移動マスクＵＶ露光法」を提案し，露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して，基礎から応用までの研究を展開しています．移動マス […]
３次元UVリソグラフィの応用
繊細な可動部や感応部を持つMEMSデバイスにとって雰囲気制御が可能な封止技術は大変重要なものです．本研究ではガラスフリット材料を使用した気密封止用マイクロ流路を作製することを目的としています．この流路はフォトリソグラフィによって作製されたフ […]
MEMS用気密封止技術
原子時計や磁気センサに代表される小型・高機能の気体封入型MEMSデバイスの信号検出の高感度化，高寿命化には気体封入圧の制御と高い気密性が求めれています．そこで本研究では，Siチップ内にMEMS技術で作製したマイクロ流路を真空引き及びガス導入 […]
金ナノ粒子及び金ナノロッドパターニング技術
金ナノ粒子や金ナノロッドは局在表面プラズモン共鳴（LSPR)などの特殊な性質を示す．本研究ではLSPRによる高機能デバイスの実用化を目指している．この目的を実現するためには，(i) 形成自由度が高く，(ii) 高精度な位置決めが可能であり， […]
