静電容量型3軸加速度センサ
高感度，低ノイズ，耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は，櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサを提案します．その特徴は（1）SOIウェハを用いた単一構造体により一点での正確な3軸加速度の検出 […]
Daily Archives: 2009/07/28
静電容量型超音波トランスデューサ
次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子（cMUT）において，更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます．cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており， […]
３次元UVリソグラフィの応用
繊細な可動部や感応部を持つMEMSデバイスにとって雰囲気制御が可能な封止技術は大変重要なものです．本研究ではガラスフリット材料を使用した気密封止用マイクロ流路を作製することを目的としています．この流路はフォトリソグラフィによって作製されたフ […]
MEMS用気密封止技術
原子時計や磁気センサに代表される小型・高機能の気体封入型MEMSデバイスの信号検出の高感度化，高寿命化には気体封入圧の制御と高い気密性が求めれています．そこで本研究では，Siチップ内にMEMS技術で作製したマイクロ流路を真空引き及びガス導入 […]
マイクロスケールでのセルフアセンブルプロセスのモデリング
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の高密度，高精度の実装は，その性能向上に欠かせないものです．このような実装を可能にする技術として，近年セルフアセンブルが注目を集めています．本研究では，様々な […]
金ナノ粒子及び金ナノロッドパターニング技術
金ナノ粒子や金ナノロッドは局在表面プラズモン共鳴（LSPR)などの特殊な性質を示す．本研究ではLSPRによる高機能デバイスの実用化を目指している．この目的を実現するためには，(i) 形成自由度が高く，(ii) 高精度な位置決めが可能であり， […]
DNAハイブリダイゼーションによりセルフアセンブルしたマイクロコンポーネントの付着力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の実装技術に関する研究が多く行われている中で，マイクロ・ナノメートルスケールの微細な部品を効率的に実装する可能性を持つセルフアセンブル技術が注目されている．セルフア […]
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されている．これらの解析には複雑な連成解析を要する．そこでシステムを等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合的に […]
金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
金ナノ粒子はバルク材とは異なる特性を有しているため，ナノテクノロジーにおいて様々な応用が期待されます．本研究では，生成過程での化学的反応条件によって粒子径・均一性が大きく依存する金ナノ粒子の生成メカニズムを解明するために，混合速度・反応温度 […]
