振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価
MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され，製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります．本研究では，2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し，初期強度や疲労寿命を測定することで，ミラ […]
Micromaterial
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では，荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，試作し高い負荷周波数での疲労試 […]
Tensile behaviors of micron-scaled silicon structure fully coated with sub-micro meter thick DLC film deposited using PECVD
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry deal to its many desirable mech […]
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では，荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，試作し高い負荷周波数での疲労試 […]
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです．プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており，ねじり梁の信頼性の把握が求められています．本研 […]
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry deal to its many desirable mech […]
せん断型ひずみゲージ集積単結晶Si並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究ではピエゾ抵抗効果のせん断効果を利用した高剛性なせん断型ひずみゲージ，およびそれを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計， […]
シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられることもありますが，そのためには性能と信頼性の向上が求められます．本研究ではミラーの小型化及びアレイ配置により性能を向上し，シ […]
Tensile testing of silicon covered with DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS industry deal to its many desirable pro […]
ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として，集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法を開発しています．ひずみゲージの集積化によって測定系を高剛性化することで100 Hz以上の高い繰返し負荷周波数を実現し， […]
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし，高温では延性破壊を起こすことが知られています．本研究では，この脆性 […]
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です．単結晶シリコンは脆性材料であることから，破壊強度はさまざまな要因によって大きく変化することが報告されてます．本研究では […]
