シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり,高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及び […]
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり,高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及び […]
本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし,SWCNTの特性評価の実験回数を重ねるため,高収率な孤立架橋アセンブル手法の開発を行った.SWCNTの孤立分散には一本鎖DNA […]
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから,これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています.応用デバイスの実用化と信頼性の向上には,実際に応用デバイスで用いられるSiNWと同一の作製プロセスを […]
シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり,NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)の構成要素としての応用が期待されています.NEMSの信頼性向上や長寿命化には,それらを構成 […]
カーボンナノチューブ(CNT)は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されています.しかし現状では複数のデバイス上への一括集積化手法は確立されていません.そこで我々は一本鎖DNAを用いたCNTの一括 […]
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ(CNT)引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測定法ではCNTを測定系に組み込む工 […]
金属ナノ粒子は局在表面プラズモン共鳴(LSPR)などの特殊な性質を示す.このLSPRの特性を用いた表面増強ラマン分光(SERS)が知られており、感度や安定性の向上が求められている。本研究では粒子アセンブル技術を用いて、金属ナノ粒子を互いに近 […]
金ナノ粒子や金ナノロッドは局在表面プラズモン共鳴(LSPR)などの特殊な性質を示す.本研究ではLSPRによる高機能デバイスの実用化を目指している.この目的を実現するためには,(i) 形成自由度が高く,(ii) 高精度な位置決めが可能であり, […]
金ナノ粒子はバルクと異なる光学的特性を有しているため,表面増強ラマン散乱(SERS)を用いた化学分析への応用が期待されている. 一般的に,金ナノ粒子は塩化金酸中のAuイオンを還元することで作製されるが,従来のバッチプロセスでは溶液中に還元 […]
ナノメートルスケールの粒子は量子効果や局在表面プラズモンの発現,高い反応性などの特殊な性質を示す.本研究ではこれらの特性をデバイスや機能材料へと応用することを目指し,サブミクロン・ナノ粒子から成るナノ構造作製技術(粒子アセンブル技術) […]
カーボンナノチューブ(CNT)やフラーレン(C60)に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています.我々は特に引張試験に着目し,これまで実現されていない,伸び検出分解能1nm,荷重検出分解能1nNでの高分解能なナノ材料引 […]