Daily Archives: 2015/03/23

寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ

静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究では感度の寸法効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,実現性を検証するために10×10個平面構造 […]

過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし，高温では延性破壊を起こすことが知られています．本研究では，この脆性 […]

単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です．単結晶シリコンは脆性材料であることから，破壊強度はさまざまな要因によって大きく変化することが報告されてます．本研究では […]

シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり，NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)の構成要素としての応用が期待されています．NEMSの信頼性向上や長寿命化には，それらを構成 […]

多種多様なナノ材料で構成されるナノ機能構造の集積化によるMEMSの高機能化が期待されています．そのアプローチの一つとして，ナノ材料を配置したDNAオリガミをシリコン基板上にセルフアセンブルすることでMEMSにナノ機能構造を集積化する手法確立 […]

カーボンナノチューブ（CNT）は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されています．しかし現状では複数のデバイス上への一括集積化手法は確立されていません．そこで我々は一本鎖DNAを用いたCNTの一括 […]

DNA origami is one of the most promising methods to form nano-scale structures or Nano/micro systems. However the effect […]

MEMSの加工技術として厚膜フォトレジストの３次元形状加工・グレースケールフィソグラフィが注目されています。しかし設計した通りに３次元形状の高精度作成が難しく、最適な加工パラメータ（例：マスクパタンー、焦点位置、現像時間）の組み合わせを決定 […]

修士1回生が昨年7月に開催された第5回国際ナノ・マイクロ技術コンテスト(iCAN14)で準優勝，第3位を受賞したことに対して，平成26年度工学研究科長賞を受賞しました．3月20日に桂ラウンジで授賞式が開催され，代表で寺島君，邊見君，中野君， […]