ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として，ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。本研究では，フィルタ構造設計に重要となる架橋度と機械的特性(弾性率・硬さ)の関係についてインデンテーション法を用いて明らかにします．
エポキシ系化学増幅型ネガレジストの機械的特性の評価
小さな機械が創る大きな機会
ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として，ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。本研究では，フィルタ構造設計に重要となる架橋度と機械的特性(弾性率・硬さ)の関係についてインデンテーション法を用いて明らかにします．