原子時計や磁気センサに代表される小型・高機能の気体封入型MEMSデバイスの信号検出の高感度化，高寿命化には気体封入圧の制御と高い気密性が求めれています．そこで本研究では，Siチップ内にMEMS技術で作製したマイクロ流路を真空引き及びガス導入に使用することで封入圧制御を実現し，最後にマイクロ流路へのガラスフリット(ガラス粉体)のリフロー(溶融)により高気密な封止を実現する技術の確立を目指しています．耐熱性，気密性，耐腐食性に優れるガラスフリットを流路封止に適用した先例はなく，具体的には最適条件の導出，気密性評価，磁気センサの実装などを行う．【主な研究発表】
[International Conference]
- Y.Hirai,H.Yoshimune,K.Tsujimoto,K.Sugano,T.Tsuchiya,O.Tabata,“Microchannel embedded in glass-frit layer bonding for gas-filled sealed cavity”, HARMST2009,Saskatoon,Canada,2009.