MEMSに代表される微小なデバイスへの応用が期待される新しい材料に、母材とフィラーの2つの材料を組み合わせたコンポジットマテリアルがあります。これをリソグラフィで微細加工を行うためには母材中に分散しているフィラー濃度が重要なパラメータとなります。そこで、リソグラフィ特性のフィラー濃度依存性について評価とモデル式の考案を行いました。本研究では母材に感光性PDMS、フィラーに磁性粒子(酸化鉄)を使用しました。
【応用先】
- MEMS
- 電磁駆動デバイス
MEMSに代表される微小なデバイスへの応用が期待される新しい材料に、母材とフィラーの2つの材料を組み合わせたコンポジットマテリアルがあります。これをリソグラフィで微細加工を行うためには母材中に分散しているフィラー濃度が重要なパラメータとなります。そこで、リソグラフィ特性のフィラー濃度依存性について評価とモデル式の考案を行いました。本研究では母材に感光性PDMS、フィラーに磁性粒子(酸化鉄)を使用しました。
【応用先】