振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価
MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され，製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります．本研究では，2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し，初期強度や疲労寿命を測定することで，ミラ […]
Daily Archives: 2019/06/10
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では，荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，試作し高い負荷周波数での疲労試 […]
DNAオリガミ技術によって形成した金ナノ粒子二量体による分子検出
表面増強ラマン分光法（SERS）で必要とされる金ナノ粒子二量体をDNAオリガミと呼ばれるナノ構造体を利用して形成するための方法を提案しています．DNAオリガミの層構造の両面に1個ずつの金ナノ粒子を結合して連結させ，基板上でDNAオリガミを分 […]
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) has been p […]
熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価
【応用先】 熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し，発電を行う．本来，熱電子発電では1000℃程度の高温が必要であるが，エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの，すなわちナノギャップを用い […]
創薬スクリーニングへの応用を目指したマイクロ流体デバイスの開発
近年，マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し，in vitroでヒト全身の生理反応を模倣するBody on a Chipが，信頼性の高い創薬スクリーニング手法として注目されています。当研究室では，ヒト心筋細胞と肝がん細胞を搭載したデバ […]
イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
重量数10kg以下級の超小型人工衛星に搭載するスラスタの開発を行っています．針状のエミッタに高電圧を印加することで，イオン液体からイオンを引き出し，加速させて推力を得る推進システムです．推力向上のためには，微細加工技術を用いてエミッタを高密 […]
シリコン三次元構造を応用したMEMS原子時計用アルカリ金属ガスセルの開発
小型原子時計CSAC(Chip Scale Atomic Clock)は IoT社会において時刻同期端末としての利用が期待されており，更なる高性能化が求められています．当研究室ではCSACの高性能化に向け，重要な構成要素の一つであるガスセル […]
DNAオリガミモールドを用いた金ナノ粒子二量体の形状制御
DNAオリガミ技術によって作製したナノスケール構造体は，多様な分野への応用が期待されています．本研究では，DNAオリガミをモールドとして用い，その内部に修飾した金ナノ粒子を無電解めっきによって成長させることで，粒子構造やギャップ間隔の制御さ […]
誘電泳動を用いたDNAオリガミ分離マイクロ流体デバイス
DNAオリガミ技術は溶液中での自己組織化手法を用いて，DNAを設計した通りに折り畳んで数十nmオーダーの2次元あるいは3次元のナノ構造を作製する， DNAナノテクノロジー分野の核心技術である． DNAオリガミ技術を用いてDNAオリガミとナノ […]
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により，真空ナノギャップが小型で高効率の熱発電デバイスとして期待されている．大面積かつ平行平滑面を有するナノギャップを作製する手 […]
MEMS fabricated nanogap electrodes
We have developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabricate large area nanogap electrodes. A thermal actuator […]
