振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価
MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります.本研究では,2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し,初期強度や疲労寿命を測定することで,ミラ […]
MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります.本研究では,2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し,初期強度や疲労寿命を測定することで,ミラ […]
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり,高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及び […]
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは,ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです.プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており,ねじり梁の信頼性の把握が求められています.本研 […]
眼底検査の際に発生する光学収差(光の波面の歪み)は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変形状ミラーを用いた補償光学系が用いられます。一般に眼底検査に用いる可変形状ミラーには直径10mmほどのミラー面の形状を最 […]
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室では凸変形および低電圧駆動を実現する新し […]
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもありますが,そのためには性能と信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及びアレイ配置により性能を向上し,シ […]
眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状ミラーでは困難である,より大きな変位,自由度の高い変形を実現するためピストン構造を採用した可変形状ミラーを提案し,研究が […]
Adaptive optics is a significant device that corrects the wavefront aberrations. This system is composed of deformable m […]
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室では,ミラーの凸変形および低電圧駆動を実現 […]
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system is composed of a defo […]
MEMSに代表される微小なデバイスへの応用が期待される新しい材料に、母材とフィラーの2つの材料を組み合わせたコンポジットマテリアルがあります。これをリソグラフィで微細加工を行うためには母材中に分散しているフィラー濃度が重要なパラメータとなり […]
眼底検査の検査光は,眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため,光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必要となります.その手法として,変形させたミラー面に波面を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室では […]