京都大学工学部紹介ビデオ 【21世紀と向き合う最先端工学】
京都大学工学部の紹介ビデオ「ようこそ京都大学工学部へ」に， iCAN2009で活躍した田畑研チーム（牧野・西野・中井・片岡・谷山）の 「音が?出るエアギター・MEMG(Meccha Enjoy Music Guitar)」が登場しています． […]
Daily Archives: 2011/05/21
HARMST 2011
６月１２日~１８日に台湾・新竹で開催されたHARMST 2011（http://www.harmst2011.tw/）で 田畑研究室から平井が参加し，下記の発表を行いました． 次回のHARMST2013は，２０１３年６月にドイツ・ベルリンで […]
超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上
超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上 次世代の微細加工技術として，DNAで作成される100nmオーダーの2次元構造体のDNAオリガミを利用して，ナノスケールの多種多様な材料をMEMSに実装する研究を行っています．複数種類 […]
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構成材料とするMEMS構造の機械的な信頼性評価・保証に役立つことが期待されます。応力評価には、顕微ラマン分光法を用います。 […]
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, small size, and easily integrated with ASIC. Therefore, MEMS vi […]
金ナノロッドの基板上成長を応用したナノギャップ電極の作製
単分子トランジスタなどのナノデバイスの実現に向け、数nmの間隔を持つ対向電極（ナノギャップ電極）を効率的に作製する手法が求められている。本研究では金ナノロッドと呼ばれる棒状のナノ粒子を絶縁膜基板上で成長させることで、ナノギャップを有するナノ […]
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ（CNT）引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測定法ではCNTを測定系に組み込む工 […]
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い，微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです．そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります．そこで，電気系と機械系を一度に解析することができる電 […]
シリコン基板のDNA修飾によるDNAオリガミのセルフアセンブル
ナノメートルスケールの材料を基板上に組み付けることで，さらに高機能のMEMSを実現する実装技術に関する研究を行っています．従来法に比べて格段に高い位置精度かつ比較的短時間でナノ材料を基板上に組付ける技術を確立するために，我々はナノ材料を組付 […]
エポキシ系化学増幅型ネガレジストの機械的特性の評価
ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として，ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。本研究では，フィルタ構造設計に重要となる架橋度と機械的特性(弾性率・ […]
高速脈動混合マイクロ流体デバイスによる均一粒子径金ナノ粒子の合成
高速脈動混合を利用することで均一なサイズの金ナノ粒子を合成する研究をしています．金ナノ粒子はサイズによって異なる特性を示すため，それぞれの応用目的に適したサイズの粒子を均一に合成する技術が必要とされています．そこで本研究では3方向脈動混合法 […]
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます．提案手法のコンセプトは，セル […]
