Fabrication


厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術

従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な3次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として,「移動マスクUV露光法」を提案し,露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して,基礎から応用までの研究を展開しています.移動マス […]