静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発

　眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています．当研究室では凸変形および低電圧駆動を実現する新しい構造を提案し，本研究では，デバイスの作製および駆動原理の確認を行い，リアルタイム制御のための数理解析モデルを用いてデバイス構造の改善を行っています．

【応用先】

• 　眼底検査における波面補償素子
• 　天文学での観測

【発表】

• A. Uno, V. K. Singh, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata, “Fabrication of MEMS Deformable Mirror Actuated By Electrostatic Piston Array“, APCOT 2016, Japan, June 2016
• A. Uno, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata, “MEMS Deformable Mirror Actuated By Electrostatic Piston Array”, Optical MEMS and Nanophotonics, Singapore, August 2016