Micromaterial


形状記憶合金薄膜アクチュエータの基礎技術とその応用

近年加速的にデバイスの小型化が進み,これに伴い小型でかつ高性能なマイクロアクチュエータのへの要望が高まっている. 一般的なマイクロアクチュエータである静電気力駆動型は小型化・変位・応答性,また圧電駆動型は出力・応答性の点で優れている. しか […]