金ナノ粒子創製用マイクロ流体デバイス
金ナノ粒子はバルクと異なる光学的特性を有しているため，表面増強ラマン散乱(SERS)を用いた化学分析への応用が期待されている． 一般的に，金ナノ粒子は塩化金酸中のAuイオンを還元することで作製されるが，従来のバッチプロセスでは溶液中に還元 […]
Daily Archives: Saturday February 17th, 2007
形状記憶合金薄膜アクチュエータの基礎技術とその応用
近年加速的にデバイスの小型化が進み，これに伴い小型でかつ高性能なマイクロアクチュエータのへの要望が高まっている． 一般的なマイクロアクチュエータである静電気力駆動型は小型化・変位・応答性，また圧電駆動型は出力・応答性の点で優れている． しか […]
Modeling of Self-assembly in Microscale
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）にナノ・マイクロオーダーの機能部品をセルフアセンブルさせることで，その性能を飛躍的に向上させることができると期待されている．より高い機能を実現するためには，セ […]
Template assisted self assembly for nanoparticle patterning
ナノメートルスケールの粒子は量子効果や局在表面プラズモンの発現，高い反応性などの特殊な性質を示す．本研究ではこれらの特性をデバイスや機能材料へと応用することを目指し，サブミクロン・ナノ粒子から成るナノ構造作製技術（粒子アセンブル技術） […]
Electrostatic MEMS for tensile-testing of nanomaterials
In this research, we focus on tensile testing of these materials. The goal of this study is to conduct tensile testing o […]
薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると，その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります． しかしMEMSデバイスの構造設計に不可欠な薄膜材料の機械的物性（引張強度，ヤング率，疲労特性，etc.）のデータベースは不足しています． ミクロサイ […]
Fabrication technology of 3D microstructure using thick photoresist
In this study, we proposed a novel 3D (three-dimensional) UV lithography apparatus for thick-photoresist and a UV lithog […]
