Sensor

Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central nervous system that causes sudden loss of ...

Nanoresonators are capable of ultrasensitive sensing and efficient information processing. Use of di ...

非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用できるリザバーコンピューティングはポスト・ムーアのコンピューティング技術の１つとして期待されています。本研究は非線形MEMS共振器を有する共振型加速度センサを ...

近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高 ...

２次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応用に注目されている。そこで、本研究ではMXeneとカーボンナノチューブの複合体薄 ...

ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定する高感度センシングに応用されている。微小な質量や力の影響を受けて共振周波数が変化 ...

近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...

流体の熱物性の情報はデバイスの熱設計や熱特性の評価に必要不可欠です。本研究では流体の熱物性計測を目指し、その計測手法として3ω法に注目しています。従来の3ωセンサでは基板への熱散逸により感度が低下する ...